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正文 第51章 第一轮测试通过,研发成功!第1页/共1页

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    基地之中,研究人员依然在继续进行光刻机的测试。

    “现在开始进行对准,监视器打开,红外光源打开,进行单面对准。”

    “调节显微镜的位置、焦距、放大倍率、CCD的增益,掩膜板图形已经呈现在监视器上,调节硅片位置与掩膜板完全对准。”

    “调节成功!”

    “现在开始调节真空度,目前真空度为-20PSI,打开开关使硅片与掩膜板紧密接触。”

    “选择进行超高精度的曝光,关闭按钮SubstrateVacuum,将显微镜系统归位。”

    见到操作都没有问题,楚辞和唐宏等人脸上的表情越发严肃起来,因为接下来就是进行曝光处理了。

    “开始曝光处理,汞灯电源打开,电压已经达到最大值。”

    “触发汞灯检查风扇是否正确运转,触发成功,电压开始降低,目前电压为54伏。”

    “旋钮调节汞灯到需要的功率以及光照度,汞灯为ARC350W,光照度调节为CH-A15mW/cm,CH-B30mW/cm。”

    “打开左面板曝光控制电源按钮,开始设定所需的曝光时间。并且开始对汞灯进行预热八分钟。”

    预热过程中,整个基地都显得安静无比,只有光刻机在运转的声音。

    虽然基地很凉快,但楚辞发现,很多人此时已经额头冒汗,双拳紧握,就连他自己都有些紧张,更别说别人了。

    “预热结束,打开有面板上的开关,曝光系统已经自动移动到硅片上方,曝光开始!”

    八分钟后,随着研究人员的声音落下,光刻机开始运转起来,对着硅片进行曝光处理。

    时间一点点过去,因为是测试,需要大量的样品,所以曝光的硅片数量也很多。

    足足等候了一个小时左右,光刻机的测试也总算是结束。

    “开始取片,关闭开关,使硅片与掩膜板脱离接触。”

    “模板架升起,取出硅片。”

    “下降模板架,取下掩膜板。”

    “关闭汞灯电源,关闭真空系统、氮气以及压缩空气。”

    “关闭光刻机电源。”

    “光刻机第一轮测试结束,现在开始对硅片进行检测。”

    随着研究人员的声音落下,光刻机也停止了运转,但所有人并没有放松,反而更加紧张。

    虽然过程中没有出现什么错误,但也正是如此,一旦硅片的光刻效果达不到他们的预期,那就意味着整个光刻机都有可能要推翻重来。

    “楚工,你觉得结果会怎么样?”

    唐宏深吸一口气问道,他都六十多了,还真有点受不了这种刺激的场面。

    “唐院长放心吧,我绝对没有什么问题,而且一会儿的结果会个我们一个很大的惊喜。”

    楚辞笑着说道,但心里其实也没有底,毕竟这种突破性的技术,失败的可能性也是有的。

    时间一点点过去,检测人员也在对每一个硅片进行详细的审查,又是一个多小时后,检测人员终于来到了众人面前。

    此时这里有数百名研究人员,当看到检测人员出现,所有人都忍不住屏住了呼吸。

    两年多的时间,七百多个日日夜夜,最后的结果如何,全看检测人员的这张嘴了。

    “报告,光刻机运行一个小时,一共生产了493片晶圆。”

    “我们已经对所有硅片进行了详细的检查,最终发现其中有411片晶圆符合需求,82片晶圆为残次品。”

    “符合需求的晶圆,根据检测,其精准度全部达到了4nm,我的汇报完毕!”

    检测人员的声音在基地之中回荡,现场众人在短暂的愣神后,随后脸上逐渐露出了不敢置信的表情。

    “这话什么意思?我们成功了?成功研发出了4nm光刻机?”

    “成功了,哈哈哈,我们终于成功了!”

    “两年啊,终于成功了,这一次可以睡个好觉了。”

    “炎国昌盛,我们的辛苦没有白费,以后我们炎国再也不用在光刻机上看其他国家的眼色了。”

    当众人回过神来后,基地之中爆发出了无尽的欢笑声,更是有不少人激动的当场流泪。

    他们在这里奋斗了七百多个日日夜夜,如今总算是有了成果。

    最关键的是,他们的成功也将意味着炎国在未来会走的更远,变得更强。

    “楚工,成功了,我们真的成功了!”

    唐宏面色激动的看着楚辞,六十多岁的他,此时也眼角通红,他没想到在有生之年,还能看到炎国在光刻机领域站在世界的顶端,甚至是超越了全世界。

    楚辞深吸一口气,心中也激动不已,他们这群人的努力,总算是没有白费!
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