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正文 057 EUV光刻机三大核心模块研发完毕,CES电子消费展留下后手!(第四更)(第1页/共2页)

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    当时叶龙查看这项技术的时候,异常兴奋。

    搞懂原理之后,

    马上研发,

    很快搞定。

    刚刚他试验过了,

    光源模块满足要求,

    比他预想的效果还要好。

    紧接着,

    他马上又研发镜头模块。

    这也是重中之重。

    要求极高:

    一,超高精度。【镜头均匀度,纯净度,镜片数量要多】

    二,反射效率要极高。【表面涂层避光性要极高,对涂层材料要求极高,一般镀有采用Mo/Si的多层膜结构】

    三,少损失能量。【距离短,反射镜片少】

    目前全球范围内,

    能够制造这种镜头的,只有德意志国的蔡司镜头才能满足要求。

    荷国阿斯麦公司的EUV光刻机,采用的就是这种镜头。

    当然,

    如此先进的镜头,

    有米国的阻挠,

    夏国公司自然买不到。

    不过,

    按照叶龙的设计方案,

    就是能买到蔡司公司的镜头,也根本无法满足要求。

    必须自己研发。

    还好抽奖已经获得了镜头模块技术。

    不到两个小时,

    他就弄懂这些技术,

    融会贯通,设计出芯片结构,

    还有制造工艺。

    把王爱国叫来,

    让他把设计图拿到车间,

    吩咐工人赶紧加工。

    “镜头?”

    王爱国拿起设计图,

    大致看一眼,

    当场就震惊了!

    他对光刻机基本构成还是非常了解的,

    镜头模块是光刻机重中之重,

    想不到叶总这么快就研发好了镜头,

    简直不可思议!

    据他所知,

    蔡司公司研发一款顶级镜头,常常需要三四年,

    甚至有时候是七八年。

    想不到叶总这么快就做到了,

    真的太厉害了!

    其实,他不知道的是,

    这只是叶龙很小的一部分工作量。

    要是他得知光源系统也已经搞定,

    恐怕会直接惊掉下巴。

    “好的,叶总,我马上送到车间。”

    王爱国满脸激动,

    拿着图纸走出科研室。

    在走廊上,

    边走边感叹:“要是老总裁还活着,看到叶总这么出息,该多么欣慰。”

    而此时,
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